當今是以半（bàn）導體技術為核心的信息時代，半導體在生產的過程中將會產生大量的有毒有害氣體、有機和無機物等，那電（diàn）子半導體的廢氣應（yīng）該怎麽處理呢？


電子半導體行業在生產時會使用顯影劑、光刻膠、清潔劑、蝕刻液等溶劑，而這些溶劑是含有大量的有機物成（chéng）分。


工業上的有機廢氣處理常用的工藝有:活（huó）性炭（tàn）吸（xī）附（fù）處理法、酸堿中和法、等離子法、蓄熱式熱氧化法、催化燃燒法、吸收法、冷凝法等。


目前，電子（zǐ）半導體行業的廢氣一般采（cǎi）用蓄熱式熱氧（yǎng）化法（RTO）的廢（fèi）氣處理（lǐ）方法，對於複雜廢氣的（de）處理，多選擇配套組合方式來處（chù）理。例如“”沸石濃縮裝置（zhì）+蓄熱（rè）式熱氧化（RTO）”。


關於蓄熱式熱氧（yǎng）化（RTO）三塔式廢氣處理(治理)裝置

產品概述


蓄熱式熱力焚燒爐（RTO），是一種高效有（yǒu）機廢氣治理設備。與傳統的催化燃燒、直燃式熱氧化爐（TO）相比，具有熱效率高（≥95%）、運行成本低、能處理大風量（liàng）中低濃度廢氣等特點，濃度稍高（gāo）時，還可進行二次餘熱回收，大大降低生產運營成本。


運作原理


RTO (Regenerative Thermal Oxidizer,簡稱RTO),蓄（xù）熱式（shì）氧化爐。其原理是在高溫下將廢氣中的有機物（VOCs)氧化成對應的二氧化碳和水（shuǐ），從而淨化廢氣，並回收廢氣分解時（shí）所釋放出來的熱量，三室RTO廢氣分解（jiě）效率達到99%以上，熱回收效率達到95%以（yǐ）上。根據客戶實際需求，選擇不同的熱能回收方式和切換閥方式。


其原理是可燃有機廢氣在攝氏760～1000度（dù）發生熱氧（yǎng）化反應，生成二氧化（huà）碳和（hé）水等。廢氣首先通過蓄（xù）熱體加熱到接近熱氧化溫度，而後進入燃（rán）燒室進行熱氧化，氧化後的氣體溫度升高，有機物基（jī）本轉化成二氧化碳和（hé）水。淨化（huà）後的氣體，經過（guò）另一蓄（xù）熱（rè）體，溫（wēn）度下降，達（dá）到排放標準後進行排放。


RTO裝（zhuāng）置中（zhōng）的蓄熱式陶瓷填充床換熱器可最大限（xiàn）度回收熱能，熱回收率大於95%，處理VOCs時不用或使用很少的燃料。若處理低濃度廢氣（qì），可選（xuǎn）裝濃縮裝置，以降（jiàng）低燃料消耗。


根據客戶需求，可設計兩室、三室（shì）、多室或單室旋轉式RTO裝置。


工藝（yì）特點（diǎn）


1. 對（duì）工況（kuàng）要求低，廢（fèi）氣中可以含有多種有機成分，處理風（fēng）量範圍大： 1,000～300,000Nm³/h；


2. 淨化率高，兩床式RTO淨化（huà）率在95%以（yǐ）上，三床式RTO淨化率在（zài） 99%以上；


3. 全自動控製，操作簡單；操作費用低；


4. 運行費用低，當VOC濃度達（dá）到400ppm時，不需要額外（wài）的燃料消耗。  


應用行業


1.汽車、造（zào）船、摩托車、自行車、家（jiā）用電器、汽修、輪胎（tāi）等行業噴漆塗裝車間產生的有機廢氣；


2.化工、製藥、半導（dǎo）體製造、LCD製造、製鞋粘膠、印鐵製（zhì）罐、塑料注塑、油墨廢氣、印刷廠、電纜（lǎn）及漆包線等（děng）製造過（guò）程（chéng）排放的有機廢氣（qì）。


3. 使用有機廢氣種類：烷烴、烯烴、醇類、酮類、醚類、酯類、芳（fāng）烴、苯類等碳氫化合物有機廢氣。


4. 有機物低濃度(同時滿足低於25%LFL)、大風量


5. 廢氣中（zhōng）含有（yǒu）多種（zhǒng）有機成分（fèn）、或有機成分經常（cháng）發生變化


6.  含有容易使催化劑中毒或活性衰退成分的廢氣  

產（chǎn）品的優勢


●幾乎可以處理所有含有機化合物的廢氣

●可以處理風量大、濃度低的有機（jī）廢氣

●處理有機廢氣流量的彈性很大（名義流量20%~120%）

●可以適應有機廢氣中VOC的組成和濃度（dù）的變化、波動

●對廢氣中夾帶少量灰塵、固體（tǐ）顆粒不敏感（gǎn）

●在所（suǒ）有熱力燃燒淨化法中（zhōng）熱效率最高（>95%）

●在合適的廢氣濃度條件下無需添加輔助燃料而實現自供熱操作

●淨化效率高（gāo）（三室>99%）

●維護工作量（liàng）少、操作安全可靠