隨著我國工業技術的高速發（fā）展，其中半導體行業（yè）需求也迅（xùn）速加大，但隨之而來也帶有VOC廢氣對大氣汙染。因為國家近年來對環境治理加大力度，半導體也成分重（chóng）點治理對象之（zhī）一。半導體行業對生產車間（jiān）清潔度要求（qiú）極高，因此廢氣排放（fàng）風量較大、排放濃度小的。今天天（tiān）清向日葵视频官网小編簡單介紹半導體行業廢（fèi）氣處理解決方（fāng）案。  


廢氣主要來源於芯片或者是線路板出產的清（qīng）洗、均膠、去膠（jiāo）、刻蝕、顯影過程中以及（jí）對電路板進行清洗。主要成分有機（jī）廢氣和酸堿廢氣兩類。有機類有:非甲烷（wán）總（zǒng）烴、氮氧化物、二氧化硫等;酸堿類有:氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。


半導體行（háng）業廢氣處（chù）理解（jiě）決方案（àn）：


(1)預處理階段（duàn）:一般采用沸石（shí）分子篩（shāi）先對廢氣進行預處理，去除（chú）粉塵以及有害氣體。

(2)主要處（chù）理階段:在此階段，比較常見而（ér）有效方法有（yǒu）: UV光解，生物過濾分解，蓄熱式熱氧化和（hé）催化燃（rán）燒等。這幾種方式各有優（yōu）劣，根據大多數電子廠廢氣的情況，在這（zhè）裏我們主要推（tuī）薦和介紹蓄熱式熱氧化（RTO）三塔式廢氣處理(治（zhì）理)裝置（zhì）。

蓄熱式熱氧化（RTO）三（sān）塔式廢氣處理（lǐ）(治理)裝置


產品（pǐn）概述


蓄熱式熱力焚燒爐（RTO），是一種高效有機廢氣治理（lǐ）設備。與傳統的催化燃燒、直燃式（shì）熱（rè）氧化爐（TO）相比，具有熱效率高（gāo）（≥95%）、運行成本低、能處理大風量中低濃度廢氣等特點，濃度稍高時，還可進行二次餘熱回收，大大降低生產運營成本。


運（yùn）作原理


RTO (Regenerative Thermal Oxidizer,簡稱RTO),蓄熱式氧化爐。其原（yuán）理是在高溫下將廢氣中的有（yǒu）機物（VOCs)氧化成對應的二氧化碳和水，從而淨化廢氣，並回（huí）收廢氣分解時所釋放出來的熱量，三室RTO廢氣分解效率達到99%以上，熱（rè）回收效率達到95%以上。根據客戶（hù）實際需求，選擇不（bú）同的熱能回收方式和切換閥方式。


其原理是可燃有機廢氣在攝氏760～1000度發生熱氧化反應，生成二氧化碳和水等。廢氣首先通過蓄熱體加熱到接近熱氧化溫度，而後進入燃燒室進行熱（rè）氧化，氧化後的氣體（tǐ）溫度升高（gāo），有機物基本（běn）轉化成二氧化碳（tàn）和水。淨化後（hòu）的氣體，經過另一蓄熱體，溫度下降，達到排放標準後進行排放。


RTO裝置中的蓄熱式陶瓷填充（chōng）床換熱器可最大限度（dù）回收熱能，熱回收率大於95%，處理VOCs時不用或使用很少的燃料（liào）。若處理低濃度廢氣，可選裝濃縮裝置，以（yǐ）降低燃料消（xiāo）耗。


根據客戶需求，可設計兩室、三室、多室（shì）或單室旋（xuán）轉式RTO裝置。


工藝特點


1. 對工況要（yào）求低，廢氣中可以含有（yǒu）多種有機成分，處理風量範圍大： 1,000～300,000Nm³/h；

2. 淨化率高，兩（liǎng）床式RTO淨化率在95%以上，三床（chuáng）式（shì）RTO淨化率在 99%以上；

3. 全自動控製，操（cāo）作簡單；操作費用低；

4. 運行（háng）費用低，當VOC濃度（dù）達到400ppm時，不需要額外的燃料消耗。  


應用行業


1.汽車、造船、摩托車、自行車、家用電器、汽修、輪胎等行業噴（pēn）漆塗裝車（chē）間產生的有（yǒu）機廢氣；

2.化工、製藥、半導體（tǐ）製（zhì）造、LCD製造（zào）、製鞋粘膠、印鐵製罐、塑（sù）料注塑、油墨廢氣、印刷廠、電纜及漆包線等製造過程排放的有機廢氣。

3. 使用有機廢氣種類：烷烴、烯烴、醇類、酮類、醚類、酯類、芳（fāng）烴、苯類等碳氫化合物有機（jī）廢氣。

4. 有機物（wù）低濃度(同時滿足低於25%LFL)、大風量

5. 廢氣中含有多（duō）種有機（jī）成（chéng）分、或有機成（chéng）分經常發生變化

6.  含有容（róng）易使催（cuī）化（huà）劑中毒或活性衰退成分的廢氣


產品的優（yōu）勢


●幾乎可以處理所有（yǒu）含有機化合（hé）物（wù）的廢氣

●可以處理風量大、濃度低的有（yǒu）機廢（fèi）氣

●處理有機（jī）廢氣流量的彈性很大（dà）（名義流量20%~120%）

●可以適（shì）應有機廢氣中VOC的組成和濃度的變化、波動

●對廢氣中夾帶少量灰塵、固（gù）體（tǐ）顆粒不敏（mǐn）感

●在所有熱力燃燒淨化法中熱（rè）效率最高（>95%）

●在合適的廢（fèi）氣濃度條件下無需添加輔助燃料而實（shí）現（xiàn）自供熱（rè）操作

●淨化效率（lǜ）高（三室>99%）

●維護工作（zuò）量少、操（cāo）作安全可靠